電子無(wú)塵車間是電子制造行業(yè)中重要的生產(chǎn)環(huán)境，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶顯示、精密儀器、光電元件等領(lǐng)域。其主要任務(wù)是控制空氣中的塵埃粒子、微生物及溫濕度，避免產(chǎn)品在生產(chǎn)過(guò)程中受到污染。為了達(dá)到并維持所需的潔凈等級(jí)，電子無(wú)塵車間需配備一系列專業(yè)設(shè)備。

一、空氣凈化設(shè)備

1. 初效、中效、高效過(guò)濾器（HEPA）

   ● 用于分級(jí)過(guò)濾空氣中的塵埃顆粒，HEPA過(guò)濾器可有效攔截0.3微米以上的微粒，是保持潔凈度的核心設(shè)備。

2. 風(fēng)淋室

   ● 人員進(jìn)出車間時(shí)必須通過(guò)風(fēng)淋室，利用高速潔凈氣流吹除人體和衣物上的塵粒，避免污染源進(jìn)入潔凈區(qū)。

3. 潔凈工作臺(tái)

   ● 提供局部高潔凈作業(yè)空間，適用于關(guān)鍵工序或核心裝配區(qū)域，通常配有垂直或水平層流系統(tǒng)。

4. FFU（風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元）

   ● 集成風(fēng)機(jī)與高效過(guò)濾器的模塊化設(shè)備，可靈活布置于天花板或設(shè)備內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)潔凈空氣循環(huán)供應(yīng)。

二、環(huán)境控制設(shè)備

1. 溫濕度控制系統(tǒng)

   ● 精確控制車間溫度與濕度，防止靜電產(chǎn)生和元件受潮，保證電子產(chǎn)品性能穩(wěn)定。

2. 潔凈空調(diào)系統(tǒng)（HVAC）

   ● 與凈化系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)空氣過(guò)濾、溫濕調(diào)節(jié)與送風(fēng)壓差控制，是整個(gè)潔凈室環(huán)境調(diào)控的核心。

電子無(wú)塵車間

三、防靜電設(shè)備

1. 靜電消除器

   ● 安裝于工作區(qū)域或設(shè)備端口，用于中和物體表面靜電，防止電子元件受損。

2. 防靜電地板、服裝和工具

   ● 保證工作人員與設(shè)備接觸過(guò)程中不產(chǎn)生靜電積累，防范靜電放電風(fēng)險(xiǎn)。

四、潔凈監(jiān)控與管理系統(tǒng)

1. 潔凈度在線監(jiān)測(cè)儀

   ● 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)車間內(nèi)空氣粒子濃度，確保潔凈等級(jí)始終符合標(biāo)準(zhǔn)要求。

2. 壓差監(jiān)控系統(tǒng)

   ● 控制不同潔凈等級(jí)區(qū)域之間的空氣流向，確保潔凈空氣由高等級(jí)區(qū)域流向低等級(jí)區(qū)域。

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